我校三维测量显微镜开放共享，欢迎校内外师生前来预约使用
安装地点：致远楼901
预约方式：通过置顶的“预约申请”提交预约

1 主要功能及描述

   具备表面三维微观轮廓及粗糙度参数测量能力的高精度仪器，可适应从超光滑抛光面到机加工粗糙表面的广泛样品需求，支持纳米级纵向分辨率，满足超光滑表面的精确测量。支持丰富的测量模式以适应多样化2D/3D测量需求，可对平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、台阶高度及刻痕深度等表面特征进行全面分析。仪器内置一体化操作软件，支持自动统计与批量测量数据输出，同时提供PSI、VSI、膜厚分析及明场等测量模式，以及条纹定位、拼接测量、自动聚焦与调亮度等自动化功能。数据处理模块包括调平位置、去噪、滤波与参数分析，并支持粗糙度、几何轮廓、结构及频率分析，配备一键测量分析功能，可高效完成批量精密器件的测量任务。设备技术规格上，配备白光/绿光双LED光源与激光光源，影像系统分辨率≥1920×1200，搭载20×干涉物镜与5×至100×明场物镜，满足0.50mm×0.35mm视场范围及光学分辨率0.69 μm（550nm）。平台采用电动式XY位移设计，尺寸≥250mm×250mm，最小移动范围≥50mm×50mm，水平调整倾角范围≥±12°。Z轴手动行程75mm，电动行程25mm，扫描范围≥15mm，分辨率达0.2nm，支持样品反射率范围0.1%-100%。
2 对外服务价格

   时间计费